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PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外,其樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類(lèi):等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間:2024-11-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外,其樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

 性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)

● 采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。
● 可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。
● 清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。
● 可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
● 清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消毒和殺菌。
● 樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。
● 廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

參數(shù)

● 電壓:AC220V  10A
● 消耗功率:<500W(包括真空泵)
● RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
● 腔體:Φ190mm×98mm
● 石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
● 內(nèi)腔:Φ165mm×55mm
● 清洗電極:Φ120mm
● 樣品臺(tái):Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
● 樣品臺(tái)與電極間距:15mm-50mm
● 可調(diào)抽氣管:Φ12mm
● 極限真空度:0.1Pa
● 工作真空度:60Pa-500Pa
● 氣路數(shù)量:2路(選裝)
● 流量控制器數(shù)量:1、2
● 流量顯示儀:2通道
● 氣路接口:Φ6mm
● 加熱樣品臺(tái):Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)
● 冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
● 工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對(duì)濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

● 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
● 重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

● 加熱樣品臺(tái)
● 流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2個(gè)通道)

保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

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