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PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

簡要描述:PCE-44 小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵

產(chǎn)品型號:

所屬分類:臭氧清洗機

更新時間:2024-11-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

 性能指標和基本配置
電源

220V 50/60HZ

紫外燈

● UV燈管
● 功率:55W
● 發(fā)出光的波長:波長254nm+185nm
● 使用壽命:6000h小時
● 照射區(qū)域:100 x 100 mm
● 光照強度:4.6 mw/cm2
1

腔體

● 抽拉盒尺寸: 140mm*132mm*20mm
● 標配高純石英片用于盛放樣品,避免污染
1

應(yīng)用

● 去除分子級別的污染物
● 紫外光固化粘合劑
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蝕
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

環(huán)境要求

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度在5,562英尺以內(nèi)
● 溫度范圍41-104華氏度
● 最大相對濕度80%,最高87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度
● 主電源波動不超過標稱電壓的10%
● 污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb

外形尺寸

240mm*200mm*165mm
1

凈重4kg
認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

1

保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

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